技术编号：6649691
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光刻机控制系统领域，尤其涉及步进扫描投影光刻机多总线时序的同步控制方法。背景技术 光刻是集成电路加工过程中最关键的工序，因此光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。国外早在多年前就已提出下一代光刻的概念，并对极紫外线光刻、电子束投影光刻、离子束投影光刻等技术进行了大量的研究，但由于工艺、生产效率、成本等诸多原因，这些技术目前仍然难以实用化。目前占市场主导地位的仍然是深紫外线投影光刻设备。当前，绝大多数投入使用的是步进重复光刻机。步进重复光刻机采用...
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