技术编号:6758960
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种母盘基底(master substrate)和一种制造高密度浮雕结构的方法。特别地,本发明涉及使用常规光学驱动器来提供高密度浮雕结构。背景技术 基于光学处理所制造的浮雕结构例如可以被用作为用于大量复制只读存储器(ROM)和预制凹槽一次写入(R)盘和可重写(RE)盘的压模。如同在复制处理中所使用的,这种压模的制造作为母盘制作被公知。在常规的母盘制作中,在玻璃基底上进行旋涂的薄感光层用调制聚焦激光束进行照射。激光束的调制使得光盘的某些部分通过UV...
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