具有电绝缘可动部分的静电微致动器和相关的驱动电路的制作方法技术资料下载

技术编号:6761979

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本发明总体上涉及静电微致动器,更具体地说涉及在磁记录磁盘驱动器中作为辅助读/写致动器的静电微致动器。背景技术 数据记录磁盘驱动器例如磁记录驱动器将信息存储在位于可旋转磁性记录磁盘的数据表面上的数据磁道中。从数据表面读取数据并且将数据写入到其上的读取/写入头或者传感器位于空气轴承浮动块上,该浮动块由位于旋转盘上的空气轴承支撑。该浮动块在刚性臂的端部处连接在柔性悬臂上。磁盘驱动器致动器通常为旋转音圈马达(VCM),它通常使致动器臂以及所附的悬臂和浮动块径向移动...
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