技术编号:6771317
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体集成电路,特别涉及一种电可编程开关电路。背景技术可编程熔丝或开关被广泛用于集成电路中,是集成电路制造后修调集成电路的性能、弥补集成电路设计或制造中出现差错的常用手段。随着对集成电路内建自测试以及集成电路性能要求的提高,需要能进行多次可编程的开关器件来修调集成电路性能。目前常用的可编程开关技术主要有两种一种是利用激光对熔丝进行破坏性的编程,将熔丝熔断。这种激光修调的方法在集成电路中普遍使用。另一种是采用电信号进行编程,如采用电迁移熔丝技术,即...
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