技术编号：6771721
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。磁介质上润滑剂的沉积背景技术在硬盘驱动工业中，在磁记录盘上涂布润滑剂的方法通常有两种浸涂工艺和热气相润滑工艺。在浸涂工艺中，溅射后的盘片经芯轴固定，浸入到润滑剂溶液中，然后从溶液中提出。通过控制润滑剂的浓度和盘片提出速度可以控制润滑剂的厚度。然而该工艺存在一些弊端。例如，该工艺中涉及使用大量昂贵的并且具有挥发性的氟化溶剂，这反过来增加了工艺成本，而且还造成了环境问题。热气相润滑工艺涉及真空中全氟聚醚(PFPE)的热蒸发，接着是润滑剂蒸气在室温薄膜磁盘上的凝...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术无源代码，用于学习原理，如您想要源代码请勿下载。