一种提供高压器件高耐压的表面区结构的制作方法技术资料下载

技术编号:6806552

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本发明涉及半导体高压器件及功率器件技术。众所周知,平面(Planar)n+—p(或p+—n)结的击穿电压,常受限于表面击穿。这里利用图1所示的n+—p结剖面图,对此现象作一简单解释。图中1为p-(或n-)衬底,2为n+(或p+)区,当n+—p(或p+—n)结,加上反向偏压后,沿中间区只有纵向电场,其值在n+—p(或p+—n)冶金结面最高。沿p(或n)区表面有一横向电场,其沿表面的积分须等于反向偏压。由于曲率效应,在n+(或p+)区表面附近的电场分布很不均匀...
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