技术编号：6808280
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种当连续使用时可抛光包括铜部分和钽部分的基材的化学机械抛光浆料。本发明包括含一种磨料、一种氧化剂、一种配合剂、和至少一种有机氨化合物的第一种化学机械抛光浆料。本发明还包括含一种磨料、一种氧化剂和一种配合剂且其中氧化剂和配合剂的重量比大于15的第二种化学机械抛光浆料。本发明还包括用第一和第二种化学机械抛光浆料连续抛光包括铜部分和钽部分的基材的方法。现有技术的描述集成电路由在硅基材上或硅基材内形成的数百万个活化元件构成。这些开始时相互分离的活化元件...
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