技术编号：6808971
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件的制造方法，特别是涉及。目前，玻璃钝化工艺已经用于小台面大功率三极管及部分模块，电压最高只能达到1200V。在大台面晶闸管上采用玻璃钝化，未见报导。大台面晶闸管一般采用硅橡胶钝化，它的高温漏电流大，电压特性差。随着高科技的迅猛发展，对高电压、大电流晶闸管的电压水平提出了更高的要求，也是亟待解决的问题，而解决这一问题的关键工艺是钝化工艺。由于熔凝玻璃膜热稳定性好，抗Na+离子沾污能力强，具有负电荷特性、高温特性好的特点，所以玻璃钝化是用于...
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