技术编号：6814681
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于各种电子部件电极上的金属薄膜，同时也涉及这种金属薄膜的制造方法。最近，各种电容、大规模集成电路、线圈、滤波器和振荡器的尺寸都有所减小。因此就电功率方面考虑，用作这些部件的电极的薄膜(氧化铝等)需要更高的电阻。由氧化铝等制成的薄膜结晶度对电阻的大小是有重要影响的。当薄膜材料为多晶或非晶时，受高电流密度或者高应力的作用，最终形成的薄膜中所含原子在晶界内扩散，成为电学迁移或应力迁移。如果薄膜内的原子在晶界处扩散，则在薄膜中会形成峰和谷，从而引起短路...
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