技术编号：6824832
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于制作液晶显示器的栅极、源极和漏极的金属层积膜用蚀刻液组合物。背景技术铝或在铝中添加钕、硅、铜等杂质的合金由于价格便宜，电阻低，被用作液晶显示器的栅极、源极和漏极材料。但是铝或铝合金与作为底层的玻璃基板的密合性较差，从而在铝或铝合金的下部使用钼或钼合金的膜形成层积膜而用作电极材料，并通过使用了磷酸等的蚀刻液进行一次性蚀刻。近年来钼或钼合金的价格高涨，从而钛或钛合金受到关注。但是，铝/钼层积膜蚀刻用的使用了磷酸等的蚀刻液不能蚀刻钛或钛合金。在半导...
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