半导体制作方法技术资料下载

技术编号:6829098

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本发明涉及到一种,更确切地,涉及到在一块半导体衬底上制作多个特定类型的双极型或MOS晶体管,其中每一个半导体晶体管可以有不同的特性。为了提高总体性能、减小尺寸和功耗、降低系统价格,微电子技术中的共同趋势是在一块单独的芯片上集成越来越多的功能。这种集成有一些缺点,其中之一是器件特性不能针对集成的每一个子区域分别优化。而是器件特性必须被折衷选择,以同样适合不同器件要求。如果集成之前达到最大性能的一个参数是使用不同电源电压,这点尤其正确。双极型晶体管的电性能主要...
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