技术编号：6830121
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有下面通式I所示结构的有机抗反射涂料聚合物，将其引入光致抗蚀剂的顶部(top portion)；其制造方法；以及含其的有机抗反射涂料组合物，该组合物用于在光致抗蚀剂的超微图案形成方法，该形成方法用于使用具有波长193nm的ArF光源或具有波长157nm的VUV光源的光刻技术。更具体而言，本发明涉及一种可保护光致抗蚀剂免受大气中胺污染的有机抗反射涂料聚合物，其可使光致抗蚀剂暴光后的后曝光延迟效应最小，而该效应同时增强了凹陷状态(notchin...
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