技术编号:6831111
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的一种,特别适用于挠性电路基板的湿处理工序。背景技术 在现在技术的药液处理装置中,例如像专利文献1所示,为了使洗涤液浓度保持恒定,使腐蚀比率及洗涤效果稳定,使用着具有与洗涤液的液面相接的盖子的洗涤处理槽。特开平6-104234号公报。可是,在现有技术的药液处理装置中,与洗涤液的液面相接的盖子,被固定。因此在药液处理过程中,当药液减少后,盖子就与药液分离,药液的液面就要露出来。其结果,在现有技术的药液处理装置中,由于在药液处理过程中,药液与空气接触...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。