技术编号:6833615
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种制作非挥发性存储器的方法,尤指一种制作SPVGSONOS型存储器的方法。背景技术 非挥发性存储器由于具有不因电源供应中断而造成储存数据遗失的特性,因此被广泛使用。而依照单元存储单元储存的数据位元数,又可区分为单一位元储存(single-bit storage)非挥发性存储器,例如氮化物只读存储器(Nitride Read-Only-Memory,简称为NROM)、金属-氧化硅-氮化硅-氧化硅-硅型(Metal-Oxide-Nitride-O...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。