技术编号:6840644
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用加热板加热的衬底热处理的装置和方法,以及涉及指向背离加热板的衬底表面上的分辨地点的温度测量装置。为了热处理衬底用于层的硬化和化学预处理,这种装置例如应用在半导体工业领域内紧随衬底尤其是光掩模上胶过程后。在热处理时,为了衬底随后的可应用性,对涂覆层尽可能均匀和均质地处理是重要的。然而这时出现的问题是,基于提高的热幅射,在矩形衬底的角区内或圆衬底的边缘区内均匀的热处理不能保障均匀的处理。从JP-A-04-239120获悉一种用于通过热板对衬底热处理...
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