技术编号:6843680
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用来对被处理体实施热处理的热处理方法以及热处理装置。背景技术 在半导体装置的制造中,对被处理体例如半导体晶片施行例如氧化、扩散、CVD、退火等各种热处理。作为用来实行这些热处理的热处理装置的一种,使用能够一次热处理多张晶片的纵型热处理装置。纵型热处理装置具有构成纵型热处理炉的由石英制成的处理容器。在处理容器的下端开口的炉口,通过盖体来进行开闭。在该盖体上经由石英制的保温筒而支撑着多级地保持多张晶片的石英制的舟形皿(保持器具)。此外,在上述处理容器...
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