技术编号：6845410
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基于铝合金的铝类靶材，尤其涉及具有大面积的大型铝类靶材。背景技术 近年来，由铝类靶材形成的铝合金薄膜被用于构成如液晶显示器的薄膜晶体管等半导体元件时的配线形成。随着近年来电子·电气制品的需求增加，该铝类靶材的需求有进一步增加的趋势。而且，半导体元件制造中，一次大量地制造具有非常精密的结构的半导体元件的技术的进步显著。具体来说，使用具有非常大的面积的靶材进行溅射、大面积地形成配线形成用的薄膜、一次制造大量的半导体元件的技术在不断进步。现在，该半导体...
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