技术编号：6848369
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及紫外探测器，具体是指谐振腔结构的，紫外双波段氮化镓(GaN)探测器。背景技术 一个由集成式紫外双波段探测器构成的成像系统，能在空间上同步获取目标的两个波段信息，可对复杂背景进行抑制，可大大提高系统的探测效率和准确性。因此，紫外双波段探测器在预警、搜索和跟踪系统中有着广泛的应用。而目前GaN紫外探测器的探测波长主要集中在360nm范围，属于单波段紫外探测器。其结构为在宝石衬底上依次交替生长多个周期的AlxGa1-xN(x≈0.1)和AlN材料来构成...
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