技术编号:6851240
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用光刻装置的。背景技术 光刻装置是一种将期望图案加到衬底的目标部分上的机器。光刻装置可以用于例如集成电路(IC)的制造中。在这种情况下,诸如掩模的构图部件可产生对应于IC的各个层的电路图案,该图案可以成像在具有辐射敏感材料(抗蚀剂)层的衬底(硅晶片)的目标部分上(例如包括一个或者多个芯片的一部分)。一般的,单一的衬底将包含依次曝光的相邻目标部分的网格。已知的光刻装置包括通常所说的分档器,其通过将全部图案一次曝光在目标部分上来辐射每一目标部分;以...
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