技术编号：6851880
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及向半导体晶片、光掩模用玻璃基板、液晶显示用玻璃基板、等离子体显示用玻璃基板、光盘用基板等的各种基板供给处理液、并对该基板实施清洗处理等的处理的。背景技术 以前，作为这种基板处理装置，有这样的基板处理装置将半导体晶片等的基板支承在围绕垂直轴旋转自如地被支承的圆盘状的旋转底座构件上，在使基板旋转的同时，向基板的上下表面供给药液等的处理液而处理基板(参照专利文献1)。在该专利文献1所记载的基板处理装置中，用设置在旋转底座构件的外周端部附近的多根、例如3...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。