技术编号：6854961
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于将半导体制造装置和显示器制造装置等的加工室抽真空、或用于排出加工室中产生的气体物质和/或副产品的组合干式真空泵。背景技术 总体上说，组合干式真空泵已经用于将半导体制造装置和显示器制造装置等的加工室抽真空、或用于排出加工室中产生的气体物质和/或副产品。罗茨转子(roots rotor)、螺旋转子或其组合用于上述的干式真空泵中。目前，组合干式真空泵包括具有至少一个叶片和至少一个螺旋转子的至少一个罗茨转子，以便保持加工室良好的真空度并降低动力成...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。