技术编号:6869635
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一微电子元件和其制造方法,且特别是有关于影像感测元件及其制造方法。背景技术 例如影像感测器和彩色滤光层的光感测集成电路在抓取影像的光感测元件中是扮演重要的角色,这些集成电路元件已应用于例如数字相机、数字摄录像机和手机等的消费电子元件和携带型元件,一般来说,金属氧化物半导体影像感测器包括过滤光的彩色滤光层、保护堆叠层、金属层、金属接触孔、介电层和接收光的光电二极管,而光电二极管是之后将光转换成电子信号。量子效率(quantum efficien...
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