技术编号：6871193
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种硫化镉薄膜的生产工艺及设备，尤其是涉及一种将超声技术与化学水浴法相结合而成的硫化镉薄膜的生产工艺及设备。背景技术 硫化镉薄膜广泛应用于太阳能电池、传感器、光探测器、激光材料、光波导器件和非线性集成光学器件等领域。目前硫化镉薄膜的制备方法主要有分子束外延生长法，真空热蒸发法，激光蒸发法，化学气相沉积法，电沉积法和化学水浴法等。分子束外延生长法、真空热蒸发法，激光蒸发法和化学气相沉积法需要高真空及大型设备，投入大，生产成本高。电沉积法工艺较复杂，...
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