技术编号：6876046
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于制造平板显示装置的设备和方法，更具体地，涉及一种用于对显示装置(例如，液晶显示装置)中使用的基板进行蚀刻的设备，以及一种使用该设备的制造方法。背景技术 通常，薄膜晶体管阵列是通过几道沉积和蚀刻工艺来完成的。这里，蚀刻工艺分为干蚀刻方法和湿蚀刻方法。干蚀刻方法是通过使用等离子气体去除半导体层或金属的方法。干蚀刻方法的例子包括等离子蚀刻、溅射蚀刻和活性离子蚀刻。湿蚀刻方法是这样一种方法，通过使用能够与具有待蚀刻层的对象的目标层产生化学反应并使其熔...
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