技术编号：6876961
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明与一种导体轨道装置及其相关制造方法有关，特别是一种具有所谓”空气间隙”空穴的导体轨道装置。背景技术 导体轨道装置是特别使用在半导体技术中，以实施半导体组件的布线。在此装置中，通常在例如像是一种半导体基板的电力传导承载基板上，形成介电质层或绝缘层，并在此之上形成一电力传导导体轨道层，在进行图形化之后，所述导体轨道层便代表最后的导体轨道。在此之后，连续地形成另一绝缘层与电力传导层，其造成的层堆栈也藉由利用所谓的”通道(vias)”而提供复杂的接线图形。所...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。