技术编号：6877153
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制备半导体器件的方法，具体涉及一种通过在凹槽处填充碳纳米管以制备半导体器件的方法。背景技术 用于本发明所述技术中的碳纳米管(CNT)是在合成碳的同素异形体之一的富勒烯(C60)过程中偶然发现的。在碳纳米管中，一个碳原子通过sp2杂化轨道与周围的三个碳原子相结合而形成一种六角形的蜂窝状图形。因此，碳纳米管也可看成是由六角蜂窝状的单层石墨结构卷曲而形成的圆柱形。根据合成条件的不同，碳纳米管可以制备成单壁碳纳米管(SWNT)和多壁碳纳米管(MWNT...
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