包括多孔层的半导体发光器件的制作方法技术资料下载

技术编号:6887643

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本发明涉及包括多孔半导体层的半导体发光器件,如发光二极管。 背景技术半导体发光器件如发光二极管(LED)是当前可利用的最有效的光 源之一。在能够在整个可见光谱上操作的高亮度发光二极管的制造过 程中,当前感兴趣的材料系统包括in-V族的半导体,特别是镓、铝、铟、氮的二、三、四元合金,也称之为m族氮化物材料;和镓、铝、铟、砷、和磷的二、三、四元合金。通常,m族氮化物器件是外延生 长在蓝宝石、碳化硅、或in族氮化物基片上的,in族磷化物器件是外延生长在砷化镓上的...
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