技术编号：6888088
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及以氧化锌为主成分的氧化锌系透明导体及该透明导体 形成用溅射靶以及该溅射靶的制造方法。另外，这里所使用的透明导 体一词中包含透明导电膜。背景技术目前，作为平板显示器等的透明电极使用最多的材料是在氧化铟(In203)中掺杂适量的锡(Sn)而得到的ITO(Indium Tin Oxide)。 ITO成为透明导体的主角的理由在于，ITO的电阻率低、在可见光范围内的透射 率高这些透明导体所要求的各种特性优于其它材料系的透明导体。但是，ITO中所使用的原料铟...
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