技术编号：6893293
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于电子材料，涉及平面磁性阵列器件的制备方法。技术背景随着器件与整机的微小型化发展，以加工微米/纳米机构和系统为目的的微 米/纳米技术在此背景下应运而生，特别是其中的MEMS技术得到了迅猛的发展。 MEMS器件具有体积小、重量轻、能耗低、惯性小、响应时间短等突出优点， 同时可把多个不同功能、不同敏感方向或致动方向的微机构大规模地集成在一 起，并且可以通过微电铸的方法进行批量复制和大规模生产，因此在医疗、生物 技术、空间技术、无线通讯等方面具有巨大的市...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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