技术编号：6895492
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种提高图形分辨率的方法，尤其涉及一种使用于半导体制 程中提高图形分辨率的方法。背景技术近年来随着电子消费性产品在体积与性能上的要求，半导体制程与组件 也越来越往小尺度的方向发展。为了大幅增加半导体的制作精密度与降低制 造尺度，在半导体制造过程中的微影制程占了举足轻重的地位，若能进一步 的提高微影制程的分辨率，即降低其分辨率系数kl，则可使后续的制程的 特征尺度变的更小，从而得到更精密更小型化的产品。近年来由于准分子激光光源的发展，微影技术分辨率...
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