技术编号:6895582
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请一般地涉及对半导体晶片上形成的结构的光学计量,更具体而 言,涉及利用支持向量机来控制制造工具。背景技术光学计量涉及将入射光束导向结构,测量所产生的衍射光束,并且对 衍射光束进行分析来确定该结构的特征。在半导体制造中,光学计量一般 被用于质量保证。例如,当在半导体晶片上的半导体芯片附近制作了周期光栅(periodic grating)后,光学计量系统被用来确定该周期光栅的轮廓。 通过确定周期光栅的轮廓,可以对用来形成该周期光栅的制作工艺的质量 进行评估...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。