技术编号:6896127
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及形成图案的方法、制造半导体装置的方法和半导体装置,特 别是,涉及形成导电图案的方法、采用该形成导电图案的方法制造薄膜晶体 管的方法和薄膜晶体管。背景技术在制造半导体装置和图像显示器例如液晶显示器的领域中,采用多种导 电材料来形成电路。因为近年来在这些应用领域中密度和分辨率不断增加, 所以对于形成配线图案的方法和导电材料希望高分辨率和高可靠性。在制造安装在电气/电子元件上的电极基板的领域中,当在预定的基板上 形成电路图案要求高分辨率时,频繁地采用光...
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