技术编号：6896895
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及纳米加工，特别是一种制备硅纳米晶超晶格 结构的方法。背景技术随着世界人口的急剧增加，矿物能源被逐渐耗尽，对其他非矿物能源的需求量越来越大。特别是在20世纪70年代爆发石油危机后， 太阳能的利用得到很大的发展。自1954年贝尔实验室报道第一个商品化的Si太阳能电池以来， 各种太阳能电池相继问世。通过数十年来的不断发展，太阳能电池从 第一代的单晶硅太阳能电池、第二代的薄膜太阳能电池到现在第三代 的高效太阳能电池，其制作成本逐步降低，转换效率不断提高。...
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