技术编号：6921294
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜半导体装置的制作方法及薄膜半导体装置，具体地涉及 用于制造采用有机半导体层的底栅型的薄膜半导体装置制作方法，以及由此 获得的薄膜半导体装置。背景技术薄膜晶体管被广泛地用作薄电子基板中的驱动元件，该薄电子基板特别 地为有源矩阵型薄显示装置。近年来，采用有机半导体作为有源层的半导体 装置引起了人们的关注。由于由有机半导体构成的有源层可以通过低温涂敷形成并可以形成在不具有热阻的柔性基板(例如，塑^F等)上，所以采用有 机半导体的半导体装置在降低成本...
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