制造半导体器件的方法技术资料下载

技术编号:6922722

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背景技术1.发明领域本发明涉及具有组成包括薄膜晶体管(在下文中称作TFT)的电路的半导体器件和制造该半导体器件的方法。例如,本发明涉及以液晶显示面板为代表的电光器件和安装了这些电光器件作为其部件的电子设备。注意,本技术说明中的术语半导体器件指能够利用半导体性能作为其功能的通用器件,并且电光器件、配有EL元件和类似元件的发光器件、半导体电路和电子设备都包括在半导体器件这一类别中。2.相关技术说明近几年,通过用形成于具有绝缘表面的衬底上的半导体薄膜(具有大约几...
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