技术编号：6923140
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明主要涉及一种微机电装置，更具体地说涉及一种具有双向微机 电元件的微机电装置，例如开关或继电器。背景技术诸如开关或继电器之类的微机电装置可以供传统的机电装置选择使 用。使用传统的半导体方法建立起来的微机电装置的优点是可编程性和减 小的尺寸，这样能够具有更小的形状系数以及相应地减小了功率消耗、响 应时间并降低了成本。使用传统的微机电开关和继电器的一个应用是电信交换连接装置。在 这些应用中，微机电开关或继电器可能被接合到一个位置几周或几年的时 间。众所周知...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。