Sonos快闪存储器单元及其形成方法技术资料下载

技术编号:6929766

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本发明涉及一种快闪存储器,尤其涉及一种电荷陷阱单元(SONOS)快闪存储器及 其形成方法。背景技术通常,用于存储数据的半导体存储器分为易失性存储器和非易失性存储器,易失 性存储器易于在电源中断时丢失其数据,而非易失性存储器即使在供电电源关闭后仍能保 持片内信息。与其它的非易失性存储技术(例如,磁盘驱动器)相比,非易失性半导体存储 器具有成本低、密度大的特点。因此,非易失性存储器已广泛地应用于各个领域,包括嵌入 式系统,如PC及外设、电信交换机、蜂窝电话、网...
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