技术编号：6931370
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及双色碲镉汞红外探测器，尤其涉及一种红外双色碲镉 汞探测器台面钝化方法。背景技术双色碲镉汞红外探测器可以同时探测两个波段的信号，有利于更准确判断追踪目标，而钝化技术是研发双色^测器的关键技术之一 。好的表面钝化工艺 可以减少碲镉汞表面损伤，决定碲镉汞器件表面的界面态，降低器件表面漏电 流。而表面漏电流占碲镉汞反向饱和电流的主要部分。致密、高阻的钝化层， 可以很好的降低碲镉汞器件表面复合速度和1/f噪声效应，提高探测器动态电阻 和反向击穿电压，大大改...
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