技术编号：6931372
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明为应用于半导体刻蚀清洗设备的全塑料高速机械手，是达到了高速运 转、平稳传送、无金属离子污染、无颗粒污染、防酸碱腐蚀等优越性和谐统一 的机械手，属于机械。 背景技术槽式酸刻蚀(如BHF刻蚀、B0E刻蚀、DHF刻蚀等)及^威刻蚀(KOH等)清洗 设备是目前半导体IC制造及硅片制造的常用设备。此类设备的槽式方案通常是 一个纯水清洗槽对应一个药液(HF、 KOH等)清洗槽。设^使用的药液非常危险， 如果操作人员直接接触，非常容易对人体造成伤害。芯片及硅片的加...
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