技术编号:6933272
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种将半导体晶片和液晶显示装置用玻璃基板(以下仅称为 基板)浸渍在处理液中,对基板进行规定处理的基板处理装置及基板处理方 法。背景技术以往,这种装置具有处理槽,具有储存处理液的内槽和回收从内槽溢 出的处理液的外槽;升降机,能够在该处理槽上方的待机位置及内槽内的处 理位置上升降,且具有用于保持基板的保持部; 一对下喷嘴及一对上喷嘴, 用于供给处理液,其中该一对下喷嘴配置在内槽的底部两侧,该一对上喷嘴 配置在一对下喷嘴的上方(例如,参考日本特开200...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。