技术编号:6934255
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于在制造半导体和微电子部件(例如微机电系统(MEMS)或微光机电系统(MOEMS)部件)时在不同的台之间移置半 导体衬底的传送盒的排气(drain)装置。背景技术在生产过程中,衬底(例如直径200mm或300mm的掩模或硅片)在 传送盒中进行输送,所述传送盒保护晶片免受存在于清洁室中大气中的污 染物污染。传送盒具有能够在衬底周围保持受控的环境气体的优点,在传送盒中 可以尽可能地避免污染产品的存在。为了传送晶片直径300mm的衬底, 使用一种...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。