技术编号：6935783
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及改进的表面发射和接收光子器件以及用于制造它们的方法， 尤其涉及为提高效率结合了透镜的表面发射光子器件。背景技术半导体激光器通常是经由通过有机金属化学汽相淀积(MOCVD)或分子束外 延(MBE)在基片上生长适当分层的半导体材料以形成与基片表面平行的活性层 来制造的。该材料然后用各种半导体处理工具来处理，以产生结合了活性层的激光 光腔，且将金属触点附加到半导体材料。最后，通常通过在激光腔的各末端劈裂半 导体材料以形成激光镜面，以确定激光光腔的边...
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