技术编号:6937494
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,尤指一种将密封环用作 校准标的的半导体芯片与密封环结构及其制造方法。背景技术参考图1,为传统半导体芯片的俯视图。传统的半导体芯片1包含有一集成电路区 10、布局在半导体芯片1角落的一校正标记12及布局在半导体芯片1外围的一密封环14。 其中,集成电路区10可包含各种电子装置,例如形成于一基板的被动元件与主动元件。同 时,校正标记12为一对准标记,例如光学对准标记、电子显微镜标记或其他对准标记,校正 标记12作为一校正机台(未标示)辨识与对准...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。