技术编号：6939698
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造领域，特别涉及一种。 背景技术在超大规模集成电路中，电容器是常用的无源元件之一，电容器经常整合在双极 晶体管或者互补式金属氧化物半导体晶体管等有源元件之中。例如在随机存储器单元中， 电容器是用来存储电荷以提供电子信息的，应具有足够大的电容量，方可避免数据的流失 并降低充电更新的频率。随着集成电路制作工艺中半导体器件的集成度不断增加，随机存储器存储单元的 密度也越来越高，电容器在随机存储器存储单元所能利用的面积就越小。为了在电容器的 面积...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。