技术编号：6940881
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于显示器领域，尤其涉及一种用于制造有源矩阵显示器的多晶硅薄膜材 料。背景技术目前有源矩阵显示器件所采用的薄膜晶体管(TFT)技术大致存在两种非晶硅薄 膜TFT和多晶硅薄膜TFT。非晶硅薄膜TFT工艺成熟并相对简单，成品率高，成本低。TFT 的特性主要通过电子迁移率的值来评价，而非晶硅薄膜TFT的电子迁移率大约为lcm2/ Vs且非晶硅器件的稳定性较差，这使之难以满足快速开关的彩色时序液晶显示、电流驱动 的有机发光二极管显示和其它集成型显示的要求。多...
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