技术编号:6944731
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对保持对象物进行吸引保持的吸引保持装置、对保持对象物进行吸引 保持的吸引保持方法、对输送对象物进行吸引保持并输送的输送装置、及对输送对象物进 行吸引保持并输送的输送方法。背景技术目前,在对像形成有多个半导体装置的半导体基板那样的在脆性材料上精密形成 有微细结构的被加工物进行加工的工序中,对用于在输送被加工物时不损伤被加工物的加 工面的被加工物的夹紧方法及夹紧装置,进行了各种研究。作为对用于保持而能够接触的 面少的保持对象物进行保持的方法,使用如下...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。