技术编号:6950649
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及阵列基板,更具体地,涉及制造包括具有卓越性能的薄膜晶体管的阵 列基板的方法。背景技术随着社会开始真正地进入信息时代,将各种电信号表示为可视图像的显示装置领 域已经得到了快速发展。特别是,作为具有轻、薄和低功耗特性的平板显示装置的液晶显示 (LCD)装置或有机发光二极管(OELD)装置得到了发展,以作为阴极射线管类型的显示装置 的替代品。具有薄膜晶体管(TFT)作为开关元件的IXD装置(也被称为有源矩阵 IXD(AM-IXD)装置)具有高分辨率和显...
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