技术编号：6954923
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及数据分析技术，特别是涉及一种工艺数据分析方法和系统。 背景技术目前，各种工艺具有数据采集功能。以半导体制程为例，数据采集(DC，Data Capture)系统会实时采集各种工艺数据，具体而言，该DC系统通常会随着时间的递增记录下各个工艺过程参数值，如压力，温度，射频电压等。通过分析采集到的工艺数据，操作人员不但可以监控分析设备的状况，还可以分析寻找工艺改进的方向，提高工艺的结果。因此，如何能够方便、快捷地分析工艺数据，以便工艺工程师或设备工程师通...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。