技术编号：6962408
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于一种微带电路设计中的RF MEMS开关，特别是一种新型的超宽 带RF MEMS开关。背景技术MEMS (MicroElectroMechanical System,即微电子机械系统)具有体积小、重量轻、多功能以及可批量生产等特点。射频微电子机械系统(Radio FrequencyMicro electromechanical System)是MEMS技术的一个分支。射频开关是微波信号和高频信号 变换的关键元件，相对于传统开关，RF MEMS开...
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