技术编号:6968580
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在使用相干光源和相位型衍射光学元件的照明装置中消除斑纹的技术。背景技术 近年来随着半导体器件的小型化,使用光学显微镜的半导体检查装置要求较高的分辨率。为此,可以使用两种方法,这两种方法包括NA(数值孔径)增加和波长缩短。然而,由于浸没物镜透镜并不能用于检查半导体装置,因增加了“NA<1.0”的限制。此外还有这样的一种公知的装置,该装置通过缩短波长法使用远紫外激光以便实现较高的分辨率,并且通过以大致为可见光的波长的一半的波长观测目标能够实现大约两倍...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。